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【内容摘要】武藏全自动晶片水准点胶机器FAD5100S-WH(武藏全自动点胶涂布装置)。实现最尖端的后端过程FAD5100点胶机系列的进化形。被自自设定晶片上的设备排列。为程序人工数的大幅度的削减做贡献。其特点如:■ 出自无停止连续动作的高速的涂布:特快点胶机能; ■ 出自无停止连续动作的高速的成直线:特快对齐功能;■ 使涂布量自动化:DVM机能;■ 被博伊德回避形成理想的涂布模式"叶线":MCD机能[PAT.P]

武藏全自动晶片水准点胶机器FAD5100S-WH(武藏全自动涂布装置)

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实现最尖端的后端过程FAD5100系列的进化形。

被自自设定晶片上的设备排列。为程序人工数的大幅度的削减做贡献。

・ 出自无停止连续动作的高速的涂布:特快点胶机能。

・ 出自无停止连续动作的高速的成直线:特快对齐功能。

・ 使涂布量自动化:DVM机能。

・ 被博伊德回避形成理想的涂布模式"叶线":MCD机能[PAT.P]。

・ 大量事前防止不良:AFC机能。

・晶片变换操作搭载。

点胶机名称:全自动晶片水准点胶机器FAD5100S-WH

点胶机型号:FAD5100S-WH

点胶机控制方式:PC/PLC控制(SMEMA根据)

点胶机适用工件台:12"晶圆,8"晶圆

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